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渦旋真空泵的發(fā)展歷史是怎么樣的
2021-01-25 10:27
渦旋理論是法國人 Leno Creux 于1905年以可逆轉(zhuǎn)的渦旋膨脹機(jī)為題申請了美國專利。但由于當(dāng)時(shí)的加工制造水平有限，渦旋盤渦旋齒型線的加工精度無法得到保證，渦旋機(jī)械在很長的一段時(shí)間內(nèi)沒有被制造出來。20 世紀(jì) 70 年代開始，能源危機(jī)的加劇和高精度數(shù)控機(jī)床的出現(xiàn),為渦旋機(jī)械的發(fā)展帶來了機(jī)遇,1973 年美國 Arthur D. Little(簡稱 A.D.L)公司首次提出了渦旋氮?dú)鈮嚎s機(jī)的研究報(bào)告，展現(xiàn)出渦旋壓縮機(jī)所具有其他壓縮機(jī)無法比擬的優(yōu)點(diǎn)，從而渦旋壓縮機(jī)大規(guī)模的開發(fā)和研制走上了迅速發(fā)展的道路。
隨著半導(dǎo)體、新材料和生物制藥等行業(yè)的飛速發(fā)展，渦旋理論的不斷成熟以及人們對真空環(huán)境清潔無油的迫切要求，渦旋真空泵以其特的優(yōu)點(diǎn)應(yīng)運(yùn)而生。20世紀(jì)80年代早期，渦旋真空泵以其密封性好，返油率低的特性被Coffin Do應(yīng)用在高真空系統(tǒng)中。1987年,日本三菱電機(jī)公司首次成功開發(fā)回轉(zhuǎn)型渦旋真空泵, 在結(jié)構(gòu)和性能上顯示了對的優(yōu)勢。1988年,立式回轉(zhuǎn)型油潤滑渦旋真空泵由日本東京大學(xué)的Morishita E研制成功。
干式真空泵與油潤滑真空泵的區(qū)別在于,泵腔內(nèi)不含任何的油類和液體。因此,解決泵內(nèi)的密封和冷卻問題是干式渦旋真空泵研究的關(guān)鍵。1990年，采用水冷方式進(jìn)行冷卻的臥式干式渦旋真空泵由 Kushiro T研制成功。1998年，采用風(fēng)冷方式進(jìn)行冷卻的干式渦旋真空泵由 Sawada T研制成功，其主軸上裝有兩個(gè)冷卻風(fēng)扇，分別位于兩個(gè)靜盤的端部。
渦旋真空泵按兩渦旋盤運(yùn)動方式的不同可分為兩種類型：公轉(zhuǎn)型和回轉(zhuǎn)型。
公轉(zhuǎn)型渦旋真空泵中的一個(gè)渦旋盤固定不動，稱為靜渦旋，另一個(gè)渦旋盤稱為動渦旋盤。電機(jī)帶動曲軸旋轉(zhuǎn)，曲軸推動動渦旋盤基圓圓心繞靜渦旋盤基圓圓心做半徑為 r（兩渦旋盤之間的徑向距離）的圓周運(yùn)動，由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)限制動渦旋盤不能自轉(zhuǎn)。其中電機(jī)轉(zhuǎn)速通常約為1500r/min，此時(shí)泵的極限真空度較高，并隨電機(jī)轉(zhuǎn)速的變化極限真空度變化較小。
回轉(zhuǎn)型渦旋真空泵中兩個(gè)渦旋盤都是動渦旋盤，它們同步同方向各自繞自身基圓圓心旋轉(zhuǎn)，相對運(yùn)動仍為公轉(zhuǎn)平動。
兩種型式的渦旋真空泵，公轉(zhuǎn)型式的結(jié)構(gòu)簡單、零件少，回轉(zhuǎn)型式的結(jié)構(gòu)復(fù)雜、零件多。目前多數(shù)廠家的渦旋真空泵產(chǎn)品都為公轉(zhuǎn)型。
國內(nèi)外已投放市場的渦旋真空泵主要有：美國Agilent公司的雙面渦旋真空泵、英國 Edwards公司的單面單頭渦旋齒渦旋真空泵、德國 Busch 公司生產(chǎn)的渦旋真空泵、中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司的雙面單頭渦旋齒渦旋真空泵，等等。
思科渦旋科技(杭州)有限公司從事高性能渦旋壓縮機(jī)與真空泵的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。公司擁有多項(xiàng)原創(chuàng)性發(fā)明專利，占據(jù)無油浮動渦旋技術(shù)創(chuàng)新及應(yīng)用較前沿地位。
公司是世界主要的渦卷技術(shù)的創(chuàng)新中心之一。2010年在中國上海設(shè)立國內(nèi)渦卷技術(shù)研發(fā)中心；在杭州設(shè)有博士后工作站分站，與國內(nèi)外高水平大學(xué)聯(lián)合進(jìn)行人員培養(yǎng)和技術(shù)研發(fā)。公司近年的研發(fā)投入超千萬元，并保持研發(fā)投入的高增長，每年都能根據(jù)市場需要推出多項(xiàng)新產(chǎn)品。公司自主研發(fā)的浮動渦卷技術(shù)，解決了傳統(tǒng)固定擾動半徑渦旋技術(shù)長期存在的可靠性和穩(wěn)定性的問題，使產(chǎn)品的性能達(dá)到更高層次。我們的無油的機(jī)械設(shè)計(jì)使產(chǎn)品和解決方案更加潔凈、節(jié)能、環(huán)保。
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