品質(zhì)為基·誠信為本
新聞資訊
干式真空泵的應(yīng)用
2022-10-31 19:43
干式真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：
1、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2、半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；
4、在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5、用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。