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渦旋干泵注定將替代油旋片泵
2016-09-06 15:20
由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動等問題給用戶造成不良影響，如生物制品行業(yè)與半導(dǎo)體行業(yè)的油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問題。真空鍍膜設(shè)備的鍍膜工藝中，在20～40Pa真空條件下鍍膜時，如果應(yīng)用普通旋片機械真空泵作為前級真空泵將對鍍膜工藝設(shè)備造成污染，影響成膜質(zhì)量。半導(dǎo)體晶片制造工藝當中使用油泵與使用于泵相比，成品率存在明顯的差距，并且排出的油霧蒸汽對環(huán)境也有污染.
科學(xué)儀器行業(yè)尤其是在分析測試儀器行業(yè)，采用油泵對測試結(jié)果將造成不良影響。大型同步輻射光束線上采用無油渦旋真空泵作為前級真空泵的作用也相當明顯。另外無油渦旋真空泵消除了普通油泵的漏油給用戶帶來的環(huán)境污染與煩惱。現(xiàn)有無油渦旋真空泵用戶的使用情況也證明了這種泵的優(yōu)越性和可靠性。
為防止普通旋片油真空泵對真空系統(tǒng)的返油污染,需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子；系統(tǒng)運行過程當中還需要定期清洗除油；有的需要定期更換真空泵油.采用無油渦旋真空泵靠前不需要加冷阱之類捕油機構(gòu)、第二不需要更換真空泵油、第三振動更小、運行更平穩(wěn)、第四能耗降低、第五重量更輕、第六突破了油泵使用范圍的限制。這些優(yōu)點使無油渦旋真空泵成為普通油旋片真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。