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干式真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：

1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

2、半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

3、除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；

4、在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

5、用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。