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前級泵和預(yù)抽泵的關(guān)系
2016-12-26 17:07

對于前級泵預(yù)抽泵的關(guān)系不明確的人來說,可能會認(rèn)為它們是同一種產(chǎn)品,因為它們都有著為主泵做好準(zhǔn)備工作的作用。但是它們是不同的兩種泵,并不能混為一談。

前級泵


前級泵的作用是在主泵出口處造成的壓強(qiáng)低于主泵的比較大排氣壓強(qiáng),并保證始終及時地排出主泵所排出的氣體流量。因為預(yù)抽泵也有為主泵工作,抽到預(yù)備真空的作用,所以當(dāng)預(yù)抽泵抽速不大于前級泵抽速時,可以用前級泵兼做預(yù)抽泵,但是反之則不行。因為預(yù)抽泵在為鈦泵和低溫泵之類的主泵達(dá)到預(yù)備真空時,就可以停掉。

當(dāng)僅使用前級泵的時候,即前級泵兼作預(yù)抽真空泵,則還要滿足預(yù)抽時間和預(yù)抽真空度的要求。如果是兩者共同作用,除了要滿足上述前級泵的要求外,預(yù)抽泵的抽速要讓整個系統(tǒng)能將真空室在(一般為10~15min)時間內(nèi)抽到所要求的預(yù)真空度,即整體速率減去前級泵的速率。

要分清前級泵和預(yù)抽泵的關(guān)系,不能將兩者混為一談,應(yīng)該使用哪種設(shè)備就用哪種!

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